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等離子清洗機(jī)鍵合玻璃和PDMS的注意事項(xiàng)-深圳金徠
來(lái)源: | 作者:深圳金徠 | 發(fā)布時(shí)間: 2021-06-04 | 1531 次瀏覽 | 分享到:
等離子清洗機(jī)鍵合玻璃和PDMS的注意事項(xiàng)
微流控PDMS芯片通常采用等離子體處理的方法,不同的處理參數(shù)會(huì)影響到PDMS芯片的鍵合強(qiáng)度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強(qiáng)度可以達(dá)到3-5 bars的耐壓值。如果等離子鍵合步驟出錯(cuò),您的芯片將會(huì)漏液并且將無(wú)法正常使用。在等離子清洗機(jī)選擇和使用上,您需要注意這幾個(gè)重要的地方。
1、等離子清洗機(jī)腔室內(nèi)的空氣污染
   等離子室內(nèi)的氣體組分會(huì)改變玻璃或PDMS表面上的化學(xué)連接。一些雜質(zhì)(即使有非常低的數(shù)量)也會(huì)污染您的樣品表面。最常見(jiàn)的污染是來(lái)自真空泵或壓縮機(jī)的油分子。由于等離子體清洗機(jī)腔室內(nèi)的油分子,您可能也會(huì)看到和以前出現(xiàn)的等離子體相同的等離子體,但是化學(xué)組分發(fā)生了變化,因而PDMS不會(huì)鍵合的很牢固
2、表面性質(zhì)
   等離子體是可以影響物質(zhì)表面性質(zhì)的一種設(shè)備,所有的污染都將會(huì)高度影響表面處理的最終結(jié)果。與流行的看法相反的是對(duì)于玻璃-PDMS的等離子鍵合,更長(zhǎng)的處理時(shí)間不會(huì)改善表面的屬性(某些非常特殊的情況除外),例如脂肪的存在(手印)將會(huì)導(dǎo)致有關(guān)表面上的處理失敗。
 3、等離子體成功的一個(gè)指標(biāo):穩(wěn)定性和顏色
    一個(gè)良好質(zhì)量的等離子體的指標(biāo)通常是它的顏色/亮度(取決于所使用的壓力和氣體)。因?yàn)榭赡軙?huì)發(fā)生變化,你需要記住的是,如果在相同的參數(shù)下,您的等離子體顏色發(fā)生了變化,那么等離子體可能就出現(xiàn)了問(wèn)題。
 
4、等離子體時(shí)間
   時(shí)間是表面處理和鍵合成功的一個(gè)關(guān)鍵因素。太短等離子體處理時(shí)間不會(huì)使整個(gè)表面發(fā)生功能化而太長(zhǎng)等離子體處理時(shí)間會(huì)強(qiáng)烈的改變PDMS表面的性能。等離子體被激活的時(shí)間越長(zhǎng),您的PDMS表面越粗糙而且還會(huì)影響到粘接性能。等離子體通常用于軟刻蝕技術(shù),最強(qiáng)牢固粘接的最佳時(shí)間通常是在20到60秒之間。

5、等離子體處理后的時(shí)間
   等離子體處理后,表面的化學(xué)鍵開(kāi)始重組,而且?guī)追昼姾?,表面的功能化活性下降從而?dǎo)致玻璃-PDMS等離子體鍵合強(qiáng)度下降。鑒于此,您必須在等離子體處理后立即做鍵合,不要在等離子體清洗機(jī)放氣之后還讓您的樣品留在等離子體腔室內(nèi),需要您快速的將玻璃-PDMS放在一起。
 
6、灰塵
   表面上灰塵的存在會(huì)阻止玻璃-PDMS的等離子體鍵合。此外,磁盤(pán)上灰塵的位置和大小也會(huì)影響PDMS的硬度。第一次清洗,至少需要一個(gè)清潔干燥的空氣噴射來(lái)沖洗磁盤(pán)或硅片。當(dāng)然,也有其它的方法來(lái)移除灰塵,您可以使用3M透明膠帶來(lái)移除表面的顆?;蚋鼮橛行У氖悄€可以把芯片放置在異丙醇溶液(IPA)內(nèi)并且使用超聲波來(lái)分離表面和PDMS孔洞內(nèi)部的不需要的顆粒。為了清洗干凈玻璃,可以先后連續(xù)使用丙酮、異丙醇、水來(lái)進(jìn)行清洗然后再進(jìn)行干燥處理。
7、熱烘以提高玻璃-PDMS等離子體鍵合的質(zhì)量
   為了使PDMS和玻璃或PDMS接觸后更容易發(fā)生化學(xué)鏈接,建議用加熱的方式來(lái)加強(qiáng)化學(xué)鏈接的強(qiáng)度。時(shí)間、溫度和設(shè)備在實(shí)驗(yàn)室和用戶之間都可以根據(jù)實(shí)際的實(shí)驗(yàn)而進(jìn)行改變。通常情況下,在80-90°C下熱烘15-30min就足以獲得很牢固的粘接強(qiáng)度。
 
8、氣體的選擇
    表面態(tài)取決于所使用的氣體。腔室內(nèi)空氣等離子體在大多數(shù)情況下都可以滿足實(shí)驗(yàn)需求。有些研究人員喜歡使用純O2來(lái)控制腔室內(nèi)總的氣體組分,但是需要更多的設(shè)備及加工過(guò)程更加嚴(yán)格。
上述所講解的就是等離子清洗機(jī)鍵合玻璃和PDMS的注意事項(xiàng),希望看完能夠?qū)δ兴鶐椭?,如果您想要了解更多關(guān)于等離子清洗機(jī)的相關(guān)信息,歡迎繼續(xù)瀏覽深圳金徠網(wǎng)站!